主要的流程的作用：

自動砂濾機            ? 去除水中較大之顆粒

多層活性碳機         ? 除氯及吸附有機物

TOC-UV/UV殺菌機 ? 殺菌及去除TOC

RO逆滲透機           ? 去除水中96%離子/懸浮污泥/TOC

混床系統               ? 提高純水電阻值

核子級純水機         ? 維持超純水電阻值的穩定

1μm 過濾器          ? 去除水中較小之顆粒

 0.1μm 過濾器      ? 去除水中極小之顆粒